Der Siliziumwafer -Texturreiniger verwendet konzentrierte Alkali, um die mechanische Schadensschicht auf der Oberfläche von monokristallinen Siliziumwafern zu entfernen. Es bildet eine wellige Pyramidenstruktur, um die Oberflächenreflexion zu verringern und die Absorption von Sonnenlicht zu verbessern. Darüber hinaus beseitigt das Reinigungsprozess für nasse chemische Reinigung Öl und Metallverunreinigungen von der Waferoberfläche.
Produktparameter
Cassette loading → Pre-cleaning → DIW cleaning → Damage layer removal (SDE) → DIW cleaning → Texturing process → DIW cleaning → POST 1 processing (SC1) → DIW cleaning → Chemical polishing → DIW cleaning → POST 2 processing (SC2) → DIW cleaning → HF cleaning → DIW cleaning → PRE - Trocknen → Trocknen → Kassette Entladen
Produktfunktionen und Anwendungen
- Entfernt Öl- und Metallverunreinigungen von Siliziumwaferoberflächen.
- Verhindert Defekte im monokristallinen Silizium und sorgt für einheitliche Texturierung.
Produktdetails
√ mit Säure konstruiert - und alkali - resistente Materialien; Keine Korrosion für bis zu fünf Jahre.
√ Stützt über den Überlauf von zwei oder vier Seiten (ausgestattet mit V - -Falte).
√ Mechanische Arme im gemeinsamen Tankbereich sind ineinandergreifende Funktionen.
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