Nach dem Mahlen sauberer (SIC -Reiniger für {- Polieren) hat die Funktionen der automatischen Erwärmung, der konstanten Temperatur und des Zirkulationsgeräts, des Ultraschallreinigungsgeräts, der Sprühdleitungs -Überlaufvorrichtung, der Pipeline und des elektrischen Steuerungssystems. Seine Funktion wird von SPS gesteuert und hat die Funktionen der Reinigungszeiteinstellung, Eingabeaufforderung für die Reinigung, Einstellung der Temperaturregelung, hoher und niedriger Flüssigkeitsalarm, Überlaufschutz, Alarm zur Erkennung von Leckagen usw.
Produktparameter
1) Produktionsfluss:
Last (Handbuch) → Ultraschall alkalischer Tank → HQDR -Tank → Entladen (Handbuch)
2) Hauptmaterial:
Metallrahmen SUS 304, ICE - Creme PP Board, Tank verwendet ppn/sus316
3) Transport:
Durch Handbuch
Produktfunktion und Anwendung
Entfernungskonimation/Teilchen auf der Oberfläche des sic -Wafers nach dem Schleifverfahren
Produktdetails
1. Kapazität:6 " * 1 Kassette (25 PCs), 8" * 1 PC -Kassette (25 PCs)
2. Reinigungsstapelzeit:Weniger als oder gleich 1 Stapel/10 min (Reinigungsverfahren ist einstellbar).
Anwendungsszenarien
◇ In Oktober . 2024, SIC Cleaner für After - Polierbeauftragung und mit der Arbeit an der Kundenstelle für Tiancheng Semiconductor.
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